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我们超精密光学配件加工技术进入世界领先
Time:2020-07-10 Read: 71

今天,记者从国防科技大学了解到,机电工程及自动化学院自主研发的新一代超精密光学配件加工设备已通过相关单位组织的工艺评定。结果表明,该套设备的加工精度达到了亚纳米水平的重大突破,典型试件光学零件的均方根方根值达到了0.361 nm,表明我国超精密光学零件加工技术已进入世界领先行列。


超精密加工技术是先进装备制造的关键瓶颈技术,而纳米精度被誉为超精密加工技术的“皇冠上的宝石”。过去,由于我国光学零件加工技术落后,无法加工大直径、高精度、复杂表面形状的光学配件,严重制约了相关领域的技术进步。自20世纪80年代以来,在李圣怡,教授的领导下,经过30多年的顽强拼搏和自主创新,大学精密工程创新团队突破了高精度机床精密运动机构设计、高效磁流变抛光液制备、离子束稳定控制、光学元件亚纳米全波段误差控制等核心关键技术。开发了一系列具有自主知识产权的磁流变和离子束抛光设备,打破了发达国家对超精密加工设备的技术封锁,使中国成为继美和德之后掌握两项高精密光学配件加工技术的国家。


近年来,在国家重大科技专项“大规模集成电路制造设备及完整工艺”和国家自然科学基金的支持下,该大学精密工程创新团队成功研制出新一代离子束抛光机床和数控光顺抛光机床,最小可控材料去除量为0.1 nm。相关专家指出,这一自主创新成果可以为“大规模集成电路制造设备及成套工艺”、“高分辨率地球观测系统”等国家重大科技项目提供强有力的技术支持和设备支持,并将直接推动相关领域的关键技术突破,对提高我国先进装备制造水平具有重要意义。

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